Thông tin chi tiết sản phẩm:
Thanh toán:
|
Hình dạng: | Tùy chỉnh | Thành phần hóa học: | w |
---|---|---|---|
Mật độ tương đối (%): | ≥99 | Ra: | ≤1,6 |
Đơn xin: | độ dày và xói mòn mịn | Tên sản phẩm: | Vật liệu có độ tinh khiết cực cao hợp kim vonfram w mục tiêu phún xạ |
Độ tinh khiết (wt.%): | 99,9% ~ 99,995% | Kích thước hạt: | ≤50 |
Kích thước (mm): | ≤D.452 | ||
Điểm nổi bật: | Mục tiêu phún xạ kim loại w-ti,mục tiêu phún xạ kim loại phôi phẳng,mục tiêu phún xạ để chế tạo chất bán dẫn |
Hợp kim vonfram có độ tinh khiết cực cao Mục tiêu phún xạ W-Ti Phôi tấm phẳng để lắng đọng hơi vật lý bán dẫn
Vonfram-titan (WTi) màng được biết đến như là hàng rào khuếch tán hiệu quả giữa Al và Si trong công nghiệp tế bào bán dẫn và tế bào quang điện. WTimàng thường được lắng đọng dưới dạng màng mỏng bằng cách lắng đọng hơi vật lý (PVD) thông qua sự phún xạ của một WTimục tiêu hợp kim.Nó là mong muốn để tạo ra một mục tiêu sẽ cung cấp sự đồng nhất của phim,tạo hạt tối thiểu trong quá trình phún xạ, và các đặc tính điện mong muốn.Để đáp ứng các yêu cầu về độ tin cậy đối với các rào cản khuếch tán của các mạch tích hợp phức tạp,WTimục tiêu hợp kim phải có độ tinh khiết cao và mật độ cao.
Loại |
W (wt.%) |
Ti (wt.%) |
Sự tinh khiết (wt.%) |
Mật độ tương đối (%) |
Kích thước hạt (µm) | Kích thước (mm) |
Ra (µm) |
WTi-10 | 90 | 10 | 99,9-99,995 | ≥99 | ≤20 | ≤Ø452 | ≤1,6 |
WTi-20 | 80 | 20 | 99,9-99,99 | ≥99 | ≤20 | ≤Ø452 | ≤1,6 |
WTi | 70-90 | 10-30 | 99,9-99,995 | ≥99 | ≤20 | ≤Ø452 |
≤1,6 |
Người liên hệ: sales
Tel: +8618939008257